1794年法军围攻卢森堡，1795年6月卢森堡投降，法国占领卢森堡。1795年10月在宣布比利时并入法国以后，法国设置了森林省，卢森堡为其中一员。法国在卢森堡的统治一直持续到1814年。1815年欧洲列强为重建战胜拿破仑后的秩序而召开维也纳会议。会上，决定将卢森堡升为大公国，但大公不是由卢森堡人担任，而是由荷兰国王兼任，于是，卢森堡又被置于荷兰的统治之下。同时又决定，卢森堡加入德意志邦联，由普警士军队驻防，卢森堡东部一些地区划归普鲁士，这是公国的第二次被瓜分。1830年比利时人起事，反对荷兰统治，卢森堡大部分地区参与起事，其后，1831年10月19日签订的《二十四条约》规定:卢森堡分属荷兰和比利时，荷属部分成为大公领地。1839年4月19日，欧洲各国签订伦敦协定，承认卢森堡为独立国家。

1848年欧洲革命波及卢森堡，迫使国王作出让步，同意开始制定君主立宪性质的宪法。6月23日宪法获得通过。1866年卢森堡摆脱德意志联邦。1867年《伦敦条约》确定卢森堡为独立的中立国。1868年卢森堡又制定了君主立宪制宪法。1890年卢森堡彻底摆脱荷兰王的统治，由拿骚—瓦尔堡家族专领，大公国完全独立。